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鈦鋁靶塊

  添加時間2018-11-23 16:56:53 瀏覽次數6729
 
鈦鋁靶塊
 
簡要介紹:
鈦靶的主要性能要求
 
  純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應
 
用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”,
 
8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%
 
的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要99.999%
 
甚至99.9999%。
 
  雜質含量
  
    靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同
 
雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元
 
素含量都有特殊要求。
 
 
  密度
  
    為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的
 
密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。
 
此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵
 
性能指標之一。
 
  晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
  
   通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺
 
射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的
 
厚度分布更均勻。
 
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